表面等离子体波纳米指零技术

吴健; 殷纯永; 郭继华

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表面等离子体波纳米指零技术

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提出了一种表面等离子体波亚纳米定位指零新方法.由光纤探头和Kretschmann镀膜棱镜组成纳米定位指零系统.并分析了探头得到的近场光强度.分析表明光纤耦合到的光通量随空气层间距变化,利用这个特点可以建立非接触式纳米定位指零系统.实验表明该系统在±1℃/h恒温条件下的定位重复性标准偏差可以达到4nm,分辨率为0.1nm/mV.

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来源
《中国学术期刊文摘》|2000年第11期|1427-1429|共3页
作者
吴健; 殷纯永; 郭继华;
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作者单位

精密测量技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学报,北京,100084;

精密测量技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学报,北京,100084;

清华大学应用物理系,北京,100084;

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正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
纳米指; 零表面等离子体波; 非接触测量;

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