微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究

摘要

综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点．最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望．