多芯光纤端面耦合微纳波导有机气体传感器

摘要

以多芯光纤端面为平台,在其上设计并采用双光子三维激光直写技术制备了由微柱、微棱镜、微椎体及微纳波导组成的光刻胶光路系统。实验研究了不同截面尺寸微纳波导对乙醇蒸气的光学传感响应特性。在波导截面尺寸优化后,获得标准大气压下,22℃的饱和乙醇蒸气的时间响应为1.54nm/s,最低的乙醇蒸气探测浓度为27.3g/m3,最高乙醇浓度变化响应的灵敏度为3.7×10^-13 m/（g·m^-3）。该器件具备小型化、远程化及操作简便等优点,有望应用于空间狭小、被检测物难以接触的环境。