论高纯硅烷气体灌装标准及工程设计与应用

摘要

本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备、管道材料,密封面的选型以及灌装系统的真空置换、压力检漏、气体排放等方面的设计经验和应用注意事项;详细介绍了目前高纯硅烷灌装的在线分析、自动化水平和灌装区设施布置的原则.