TEA CO_2激光器均匀场电极的设计

摘要

介绍了TEA CO2激光器大面积均匀场放电电极的设计以及实验结果。无限大平行平板电极两极间的电场分布是均匀的,要在有限的(电极)尺寸条件下实现电场的均匀性设计,即将设计问题转变为放电电极剖面形状的理论和工程计算问题。本文根据TEA CO2激光器工作的实际情况,选择Chang氏理论作依据设计了均匀场放电电极。实验结果表明,使用该电极TEA CO2激光器可在500Hz高重复频率脉冲条件下连续工作10min,并在55mm放电电极宽和平坦部分为40mm剖面的平行平板两个主放电极之间实现了大面积稳定的均匀场辉光放电,解决了主放电电极大面积放电易产生弧光放电影响TEA CO2激光器长期稳定工作的问题。