应用于微靶装配的显微视觉检测技术

摘要

针对如何实现微小尺度(μm^mm)靶零件装配过程中的在线检测,研制了应用于微靶装配的显微视觉检测系统,并对系统的构成与显微成像、图像预处理、特征检测等关键图像处理技术进行了详细论述。提出了针对微靶零件的新型多重滤波除噪算法和几何特征检测算法,并以铝台阶、柱腔等微靶零件为应用实例开展了实验研究。结果表明,该系统采用的算法能有效、快速、准确地对靶零件进行几何特征和实时位置检测,在检测视场为3 mm时,其检测精度≤3μm,角度检测精度≤0.1°,适用于ICF微靶等微型器件的微装配。