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姚成; 厉学武; 罗建海; 曹维成; 唐丽霞; 郭军刚;
金堆城钼业股份有限公司技术中心 陕西 西安710077;
中和结晶; 钼含量; 结晶温度; 纯氧化钼;
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机译:用于操作投影曝光设备的方法,涉及相对于不可校正的膨胀系数对图像像差的影响,消除校正后的膨胀系数对物体像差的影响。
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