一种扫描电镜实验课中演示电子束穿透深度的方法

摘要

扫描电镜分析是一种广泛应用于科研和生产中的重要分析表征手段,也是理工类专业本科生和研究生仪器分析课程的重要组成部分。在实际教学中,让学生深入、直观地认识电子束与样品的相互作用区域,理解电子束穿透深度及其影响因素,是课程的重要内容。设计了一组教学演示实验,通过采集分散在高纯硅片上的纯金属微球的能谱成分信息,分析其硅基底的含量,间接地确定电子束在样品内的穿透深度,并从电子束加速电压和样品原子序数两方面分析了其对电子束穿透深度的影响。该实验可操作性强,数据简单易得,对于学生深入理解电子束穿透深度这一概念及其在今后的实际应用中选择合适的电子束参数具有重要意义。