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钇铝石榴石(YAG)和钆镓石榴石(GGG)外延衬底的超精密制备技术

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《中国机械工程》 |1997年第5期|86|共1页
作者
滕霖; 宋绍忠; 任敬心;
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作者单位

无;

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