超精密环境温度控制及温度测量技术研究

摘要

分析在超精密加工环境中进行高精度温度测量与控制的原理及方法.在分层次逐步实现的原则下,依据传热学原理,规划并初步建成了一个超精密的加工环境.比较各种温度传感器,分析分辨率达10-3℃的石英晶体温度传感器的原理,建立温度控制系统的数学模型,采用自适应预测模糊PID控制,最终的温度控制精度在0.1℃以内.此系统更适合于使用气浮导轨和气浮主轴的超精密机床和超精密测量等不适宜采用油喷淋温控系统的场合,而且成本更加低廉.