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五自由度纳米级定位工作台的设计研究

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摘要

提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法.工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位.给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例.

著录项

来源
《中国机械工程》 |2005年第15期|1317-1321|共5页
作者
王勇; 刘志刚; 薄锋; 朱健强;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机构学 ;
关键词
精密定位 ; 柔性机构 ; 压电/电致伸缩驱动; 五自由度 ;

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