微区X射线荧光光谱喷墨打印电路无损分析

摘要

金属喷墨打印作为拥有巨大潜力的新兴电子制造技术,但对喷墨打印产品的检测尚未有全面可靠的方法,针对此问题,提出一套检测喷墨打印产品的新方法.利用微区X射线荧光光谱仪对金属喷墨打印样品进行微区扫描,然后提取每个扫描点的不同元素的射线荧光强度,最后将不同元素的荧光强度拼接成二维图像;另一方面,对金属喷墨打印样品进行光谱共聚焦线扫描,得到样品的三维轮廓图.通过对样品的微区X射线荧光微区扫查得到样品的元素分布及元素分布的均匀性,对样品的光谱共聚焦线扫描得到样品线宽、线高.通过微区X射线荧光光谱法及光谱共聚焦线扫描法建立一套可靠的质量检测评价方法,有望为提升金属喷墨打印工艺提供技术支撑.