声明
第一章 绪论
§1.1 引言
§1.2 可延展柔性互连电路制备工艺国内外研究现状
§1.3 喷墨打印工艺概述
§1.3.1 简介
§1.3.2 喷墨打印油墨
§1.3.3 喷墨打印技术的应用
§1.4 喷墨打印工艺研究面临的挑战与发展机遇
§1.5 本文的研究内容与思路
第二章 喷墨打印可延展柔性互连结构实验器材与方法
§2.1 喷墨打印工艺实验材料与仪器
§2.2 喷墨打印实验方法
§2.2.1 Dimatix2800系列喷墨打印系统
§2.2.2喷墨打印工艺方法
§2.3 喷墨打印工艺制备可延展柔性电子电路成膜性研究
§2.4 喷墨打印制备可延展柔性电子互连结构典型工艺缺陷
§2.4.1 咖啡环效应
§2.4.2 卫星点问题
§2.4.3 薄膜裂纹与低电导率问题
§2.5 可延展柔性电子互连结构电学特性表征方法
§2.5.1 电阻测量
§2.5.2 伏安特性测量
§2.5.3 方块电阻测量
§2.6 喷墨打印制备工艺优化思路
§2.7 本章小结
第三章 可延展柔性电子互连结构喷墨打印过程工艺参数分析
§3.1 墨滴点间距的设定
§3.2 喷墨打印工艺制备前处理方式的选择与优化
§3.2.1 电晕处理工艺
§3.2.2 超声清洗工艺
§3.2.3 辅助性表面化学助剂预处理
§3.3 喷墨打印过程参数的控制
§3.3.1 喷墨打印墨滴驱动电压波形设置
§3.3.2 喷嘴与基底高度的设定
§3.4 不同打印层数及印后烧结温度与时间的优化
§3.5 本章小结
第四章 喷墨打印可延展柔性电子电路工艺参数整合与验证
§4.1 喷墨打印工艺参数整合
§4.2 喷墨打印工艺优化参数验证
§4.2.1 不同几何参数的直线型互连结构制备
§4.2.2不同几何形状的曲线型互连结构制备
§4.3 外加载荷下互连电路的表面形貌观测
§4.4 本章小结
第五章 总结与展望
§5.1 总结
§5.2 展望
参考文献
附录
附图1 Dimatix DMP-2800系列材料喷印机
附图2 瑞安市智林电晕设备公司TW系列电晕机
附图3 超声清洗设备
附图4 广州市大祥电子机械设备有限公司数显式可定时的恒温烤炉
附图5 德国卡尔蔡司公司的SUPRA 55VP场发射型扫描电子显微镜
附图6 基恩士公司型号为VK-X200的显微镜
附图7 RTS-9双电测四探针测试仪
致谢
作者在攻读硕士期间主要科研成果
