显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量

摘要

结合剪切干涉技术与显微干涉技术 ,提出了显微剪切干涉非接触表面粗糙度轮廓测量方法 .由于自参考干涉和共路偏振相移干涉特点 ,建议的干涉仪具有极好的抗环境干扰和振动的能力 ,同时能取得一般显微干涉仪的表面粗糙度测量精度 ,适合制造环境下表面粗糙度精密测量 .介绍了发展的显微剪切干涉仪的原理 ,以及相应于粗糙度轮廓的波前重建算法 .