倒装键合机支撑板模态参数提取与实验验证

摘要

采用ANSYS有限元仿真计算与LMS Test.Lab锤击实验相结合的方法研究支撑板的模态特性.仿真分析得到支撑板的前6阶固有频率和振型,并通过实验验证仿真结果的准确性.将理论计算与试验的结果进行对比分析,得出支撑板的一阶固有频率为400 Hz,高于支撑板上安装的伺服电机的工作频率以及周围环境的激振频率,因此不会产生共振现象,为防止共振、改善整机质量性能及结构优化提供参考依据.