北京埃德万斯离子束技术研究所

摘要

北京埃德万斯离子束技术研究所是国内离子束刻蚀系统、离子束溅射沉积薄膜系统、微米及纳米器件微结构研究和薄膜材料研究的创新者，是先进商用技术产品的专业制造者。