微驱动进给结构设计与模态分析

摘要

介绍了用于半导体晶圆加工的超精密磨床微驱动进给结构的设计目标及设计原理，提出了微驱动进给结构模态分析的评价指标，对微驱动进给结构进行了模态分析，通过模态分析确认了微驱动进给结构的合理性。