上海集成电路研发中心开发成功多晶硅纳米线场效应管生物芯片

摘要

上海集成电路研发中心基于国内12英寸生产线40nm标准CMOS工艺平台,开发出了最小线宽为10nm的多晶硅纳米线场效应管生物芯片,芯片对miRNA标准样品的检测灵敏度可达1fM,为目前所报道的最高检测灵敏度,并能区分非特异性结合的样品。