一种锁相倍频式光栅检测装置

摘要

本文介绍了一种以 ８９Ｃ５１单片机为核心器件的多功能光栅检测装置，该检测装置采用锁相倍频式莫尔条纹细分方法完成２００细分，提高了系统的分辨率。