干气密封在真空泵上的应用

摘要

分析了干气密封的工作原理、性能影响参数,通过干气密封实验室台架试验和工业运行实例,证明所设计的干气密封能够使密封实现非接触运行,并且密封性能可靠、良好,有效解决了机械密封成本高以及泄露等问题。