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Screw-type Dry Vacuum Pump Technology and Application in Semiconductor Process

机译：螺丝型干式真空泵技术及其在半导体过程中的应用

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作者
Myung-Keun Noh; Tae-Kyoung Hwang; Jea-Woo Park;
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年度 2008
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1. Dry vacuum pumping technology outperforms oil-sealed pumps for investment casting: vacuum casting furnances provide a critical dust load to common vacuum pumps. problems can be overcome by application of oil-free, dry pumping technology [J] . Will Westlake Vakuum in Forschung und Praxis . 1999,第3期

机译：干式真空泵技术优于精铸的油封泵：真空铸造炉为普通真空泵提供了至关重要的粉尘负荷。无油，干抽技术的应用可以解决问题
2. New - Technology, Dry-Compression Screw-Type Vacuum Pumps Reduce Operating Costs [J] . Thomas Dreifert, Uwe Zoellig Industrial Heating . 2007,第5期

机译：新技术，干压缩螺杆式真空泵降低了运营成本
3. Dry compressing screw-type vacuum pumps [J] . Sue Tyler Aluminium International today . 2005,第3Suppla期

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4. Research,Development and Industrialization of Dry Vacuum Pumps Applied in Generalized Semiconductor Industry [C] . ZHANG Zhen-hou, BA De-chun, WANG Guang-yu, Vacuum and surface engineering. . 2011

机译：干式真空泵在广义半导体工业中的研究开发与产业化
5. Feasibility evaluation of Ion Mobility Spectrometry as process analytical technology (PAT) application for 2,4,6-Tribromoanisole (TBA) detection; Transition from wet to dry chemistry. [D] . Colon Diaz, Elvia M. 2014

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6. Key composition optimization of meat processed protein source by vacuum freeze-drying technology [O] . Yan Ma, Xingzhuang Wu, Qi Zhang, 2018

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7. Surface Finishing Technology and Semiconductor Fabrication Process. Drying Technology for Silicon Wafer in Semiconductor Manufacturing. [O] . Cozy BAN, Kazunao SATO 1998

机译：表面精加工技术和半导体制造工艺。半导体制造中硅晶片的干燥技术。
8. Vacuum Microelectronic Emitters and Their Applications Using CompoundSemiconductor Technology [R] . Holcombe, D., Jiang, W. N., Mishra, U. K. 1994

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