复合薄膜摩擦学性能的实验研究

摘要

文章所使用的Mo S2/WS2复合薄膜是通过Mo S2与WS2双靶共溅射的方法制备出来的,同时使用了X-射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）对薄膜微区的化学成分和形貌进行分析。实验发现,Mo S2/WS2复合薄膜属于纳米级复合膜,膜表面由大小为50~100nm的颗粒组成,与纯Mo S2薄膜（200nm）,其颗粒较小;因而,复合薄膜的致密性比纯Mo S2薄膜更好。在室温大气条件下,Mo S2/WS2复合薄膜的摩擦学性能比纯Mo S2薄膜更优越。