多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究

摘要

提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9%～20.3%的四氯化硅;调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响。显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化。优化条件下,进气中STC质量分数从4.21%增加到18.11%,尾气中STC质量分数从32.