STUDIES　ON　HOMOGENEOUS　SCAVENG　REACTION　IN　　CONFINED　ETCHANT　LAYER　TECHNIQUE　FOR　NANOLITHOGRAPHY　（I）　──As　（III）　SCAVENGING　BROMINE　REACTION

Lian Yong SU; Jin LUO; Zhong Hua LIN; Zhao Wu TIAN (The State Key Laboratory for Physical Chemistry of the Solid Surface; Xiamen University; Xiamen 361005)

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来源
《中国化学快报：英文版》 |1995年第3期|243-246|共4页
作者
Lian Yong SU; Jin LUO; Zhong Hua LIN; Zhao Wu TIAN (The State Key Laboratory for Physical Chemistry of the Solid Surface; Xiamen University; Xiamen 361005);
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类砷As;
关键词
LAYER; HOMO;

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