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静电雾化沉积制备PbTiO3薄膜的研究

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摘要

采用静电雾化沉积技术制备了PbTiO3薄膜,探索了沉积温度和沉积时间对所制备薄膜的结构和形貌的影响.通过调节制备工艺,制备了多孔和致密的PbTiO3薄膜.测试了所制备钛酸铅薄膜的介电频率特性,在100kHz的介电常数和介电损耗分别为222和0.0247.

著录项

来源
《中国陶瓷工业》|2005年第5期|17-20,12|共5页
作者
宫华; 黄晖; 汪敏强; 刘开平;
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作者单位

长安大学材料工程系,西安,710054;

西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室,710049;

西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室,710049;

长安大学材料工程系,西安,710054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类铁电体、铁电晶体;
关键词
静电雾化沉积; 钛酸铅; 铁电薄膜;
入库时间 2022-08-18 07:48:05

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