X射线光电子能谱仪的数据采集及处理技巧

摘要

X射线光电子能谱(XPS)广泛应用于材料表面分析表征.在XPS分析过程中,对于经验不足的科研或者测试人员可能会引入一些主观性的判断,使得谱图测试及分析对数据分析质量产生影响.为获得更好的数据质量,本文根据国际标准和实际测试经验总结出一种通用于不同类型材料表面分析表征的XPS数据采集和处理分析思路,以方便测试人员能够更加系统的进行数据采集和分析,为材料研发人员提供更加全面的元素组成信息和谱图解析注意事项,从而更有效地助力材料表面分析研究,该方法对科研工作者分析准确度的提高具有重要的理论意义和实际应用价值.