薄膜三重价态锰氧化物的制备与性能

摘要

应用偏靶射频磁控溅射方法在SrTiO3(001)单晶衬底上制备了三重价态(Mn3+,Mn4+,Mn5+)锰氧化物薄膜La1-x-yCaxKyMnO3.这种薄膜具有钙钛矿结构,A位拥有La3+,Ca2+和K+三种离子,对应的B位为Mn3+,Mn4+和Mn5+三重价态离子共存.通过18 kW高能x射线衍射仪和D8 X射线面探衍射仪检测证实制备的薄膜为取向多晶薄膜.原子力扫描图像显示薄膜表面平整,且随薄膜厚度增加表面平整度起伏增大.表面光电压测试显示,该薄膜具有明显的光生电压信号.