四氯化硅水解制纳米二氧化硅粉体工艺分析

摘要

在多晶硅的合成过程中会有四氯化硅副产物产生,而四氯化硅不仅对生态环境有危害,还会在一定程度下损坏人体健康.因此,必须科学有效的利用四氯化硅,而使用气相法和沉淀法水解四氯化硅可得到用途广泛的二氧化硅.本文介绍了生产粉体二氧化硅的两种制备工艺——化学沉淀法和气相法,通过比较两类方法的优劣之处,为纳米二氧化硅粉体制备进一步量产化提供了方向和目标.