氯硅烷歧化制备硅烷工艺

摘要

近年来随着我国时代快速发展与社会经济的繁荣,多晶硅生产领域也获得了空前发展.氯硅烷歧化制备硅烷工艺因为其生产成本偏低、投资小以及实际产生的能耗较少等优点,逐渐受到更多企业的重视和关注.该工艺与其他制备方法相比,在生产过程所获取硅烷的转化率更高,多数能够达到96%左右.硅烷最后甚至能够全部转化成氢气以及高纯硅.因此研究了氯硅烷歧化制备硅烷工艺.