聚酰亚胺基炭膜形成过程中元素组成变化规律的研究

摘要

作为制取炭薄膜原料之一的两种耐高温聚酰亚胺薄膜在高纯氮气流条件下形成炭膜过程中对其元素组成变化进行了研究。结果表明，两种样品中均含有碳、氢、氮和氧等四种成分。在５００℃以前各种元素含量变化不大。在此温度之后，碳元素含量随炭化温度的升高而增加。而且，在６００－７００℃温度之间增加最快。