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潘佩瑾;
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机译:使用液态前驱物的液体前驱体ALD方法,使用二硫化钨薄膜的生长方法,使用二硫化钨薄膜生长,使用钨的前驱物(3)
机译:使用溶液前驱体等离子喷涂工艺来制备致密陶瓷涂层的前驱体和加工条件。
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机译:使用第一和第二碳前驱体制造SiOCN层的方法,第一碳前驱体不同于第二碳前驱体
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