高速、微细超精、重大型装备的激光干涉测量技术

摘要

高速、微细超精、重大型装备的精度检测是当前众多行业所关注的重大问题之一,英国雷尼绍公司继2007年推出轻巧型XL80激光干涉仪后,2009年又为RLE10/20光导纤维激光尺系统研发出16384细分的RSU10接口,使得在保证60m/min高速测量的基础上实现高达0.01nm的激光测量分辨率,为高速、微细超精、重大型装备的检测提供了系列稳定可靠的激光干涉测量方案。