纳米复合材料三维微纳结构加工研究取得重要进展

摘要

受传统光学理论衍射极限的限制，利用普通光刻技术难以进行纳米尺度三维加工。理化所段宣明研究员研究组，自主研制成功“纳米光子学超精细加工系统”。他们与国内外大学、研究机构合作，利用近红外波长的飞秒激光直写技术，通过对加工方法的深入研究，实现了纳米尺度的加工分辨率．受到国内外的广泛关注。