激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量

摘要

介绍了一种可用于测量滚动轴承曲面形貌的表面轮廓综合测量仪,在测量中应使杠杆处于平衡位置,以减小测量力;用衍射光栅干涉位移传感器作为位移测量系统代替传统的电感位移传感器;z向工作台采用粗、细两级驱动定位,利用步进电机驱动斜面导轨进行粗级定位以扩大量程,压电陶瓷做微位移驱动实现精密定位以提高测量精度.论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理.