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曹柏松;
合肥市新技术应用研究所;
合肥科学仪器实验厂;
胃肠电图; 微机处理; 应用研究; 科学仪器; 新技术; 合肥市; 实验厂;
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机译:封装的微机械设备,例如真空微泵,具有微机械密封电互连的设备以及具有悬浮微机械键合焊盘的设备
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