大量程纳米分辨率超精密测径仪

摘要

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪,该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法 . 介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量的精度和重复性 . 这种新型测径系统分辨率可以达到 1nm,量程范围可达 0～ 100mm.