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双频激光干涉多坐标实时精密测量系统研究

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介绍了一种具有较简单结构、方便实用的经济型双频激光干涉多坐标实时精密测量系统的基本原理及构成．

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来源
《航空精密制造技术》 |1997年第6期|36-39|共4页
作者
张建明;
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作者单位

中国航空精密机械研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TH744.;
关键词
双频激光干涉; 多坐标; 实时; 精密测量;

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