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王洪健; 李杨; 王围;
航空工业北京航空精密机械研究所,北京100076;
航空液压阀; 阀芯; 阀体; 研磨;
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机译:[特邀嘉宾]开发对下一代LSI工艺和材料开发有用的超精密制造和测量技术:通过光学技术和精密机械技术的合作开发下一代原子级生产技术
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