金属化有机膜制备方法的研究

摘要

计算了真空蒸发制备薄膜时造成衬底温度升高的热量－蒸发源的辐射热和沉积时的冷凝热。总结了制备金属化有机膜时防止衬底软化的各种方法，包括提高蒸发距离，降低沉积率，减少蒸发源尺寸和采用挡板等。