热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量

摘要

以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑Al平面薄膜靶.该靶用于惯性约束聚变(ICF)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利-泰勒流体力学不稳定性的影响.以卢瑟福背散射(RBS)、俄歇电子能谱(AES)、扫描电子显微镜(SEM)和α-step 500台阶仪测量Al薄膜靶的靶参数.Al膜厚度为微米量级,表面稳定的氧化层厚度约为7 nm,膜密度为2.312 g*cm-3,颗粒度0.1 μm,表面粗糙度平均值为5.3 nm.测试结果表明:热蒸发工艺制备出的自支撑Al平面薄膜靶的厚度、表面平整度及均匀性基本符合ICF分解实验所提出的技术要求.