串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立

摘要

建立了由2×1.7 MV串列加速器、200 kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置.对主要设备进行了改造,并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题.2台加速器和所有的真空泵都运行时,电镜仍可正常工作,观察到的图像质量不受振动影响.电镜室内样品倾斜角最大可达52°以上,离子注入不影响电镜观测,可进行离子注入的原位和实时结构研究.离子注入机输出的115 keV氮离子在电镜入口测得的束流强度达100～180 nA.初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程,显示这套装置具有离子注入条件下的原位观测能力.