脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟

摘要

分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应，在能量较低的情形下，离子轰击处理为靶膜表面热流输入。采用有限元程序，对能量为600 keV、束流为12 mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu基Ti靶的热传导进行了数值计算，得到了热传导清晰物理图象。