甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响

摘要

以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法 (MPECVD)在1 cm×1 cm Si(100)基体上沉积了金刚石薄膜.研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响.分别采用扫描电子显微镜(SEM),Raman光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析.结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103 Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构.