化学气相沉积法制备富勒烯结构二硫化钼纳米粒子

摘要

以MoO3和S粉为原料,高纯氩气为载气和反应气氛,在石英管反应器中,用化学气相沉积法制备富勒烯结构MoS2纳米粒子,用XRD对产品的成分进行测量,SEM观察产品的整体微观形貌.结果表明,在900℃下,通氩气1 cm3/min,保温8 h,制备了平均粒径在250 nm左右的高纯富勒烯结构MoS2纳米粒子.