高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展

摘要

四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸馏、多级精馏等方法以及此类方法的组合,来制备可应用于半导体行业的超高纯四氯化钛。对超高纯四氯化钛的制备工艺进行探讨,并展望超高纯四氯化钛制备工艺的发展趋势和方向。