450mm晶圆载体

摘要

基于最新的450mm晶圆厂载体的SEMI标准，Beta版450mm晶圆载体的设计允许早期的450mm设备集成和晶圆处理研究。Entegris还提供450mm单晶圆和多晶圆晶舟（前开式晶舟盒，FOSB）。这款Beta版450mmFOSB采用ISTA（国际安全运输协会）认证的二级封装系统，能安全可靠地传送450mm晶圆。