低能电子束注入装置的研制

摘要

研制了1台低能电子束注入扫描装置,用于模拟空间环境中低能粒子对航天产品的侵蚀效应。低能电子束注入装置可引出2nA～100μA量级的电子束,能量在1～50keV连续可调,束流扫描范围从φ20mm到φ100mm可调,扫描均匀度好于90%;靶上注入剂量率108～1014s-1.cm-2,能够进行在线束流剂量监测。