不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响

摘要

本文采用热丝ＣＶＤ方法在不同方向的Ｓｉ衬底上生长金刚石薄膜。研究了金刚石薄膜的生长特性以及不同重力取向对金刚石薄膜成核密度、生长速度和晶体品质的影响。通过激光喇曼光谱、原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描电镜（ＳＥＭ）等测试得出：不同重力取向生长的金刚石薄膜成核密度和生长速度表现出明显的差别。