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付斌; 张丽新;
辽阳石油化纤公司英华化工厂,辽阳111003;
吗啉; 低压汽相; 硫化促进剂;
机译:AIGaN上氮化硅的高温低压化学汽相沉积:能带偏移和钝化研究
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