离子束在材料表面改性处理上的应用

摘要

本文围绕离子束对材料(主要是金属材料)表面改性处理,分别扼要介绍了属于此范围的几项主要技术。即离子注入、离子束混合、各种离子束淀积等技术的研究和应用。并且还综述了我们在这方面所做的工作,主要有:离子注入改善电触头性能;离子束溅射淀积钨膜、钛膜,提高了铍的表面硬度;钢材表面处理提高了润滑性能,在光学玻璃上进行离子辅助镀膜的研究等等,经过这些方法处理的材料,表面性能均得到改善。